தூய்மை அறை மற்றும் மாசு கட்டுப்பாட்டிற்கான காற்றுத் தெளிப்பு அறை
1. பொருளின் மேற்பரப்பை அதிக செயல்திறனுடன் துடைப்பதற்காக, பல கோணங்களில் சரிசெய்யக்கூடிய முனைக்குழல்கள்;
2. தூசியைத் திறம்பட வடிகட்டுவதற்காக, முதன்மை, நடுத்தர மற்றும் உயர் செயல்திறன் கொண்ட மும்முனை வடிகட்டிகள் பொருத்தப்பட்டுள்ளன;
3. ஒன்றோடொன்று பிணைக்கக்கூடிய உள்ளீட்டு/வெளியீட்டுக் கதவுகள் மற்றும் கட்டுப்படுத்தக்கூடிய கடத்தும் வேகத்துடன் கூடிய அறிவார்ந்த கட்டுப்பாடு;
4. சுத்தமான பகுதியின் காற்று அழுத்தத்தையும் தூய்மையையும் பராமரிப்பதற்கான உள்ளகக் காற்றுச் சுழற்சி.
பொருள் பை முன்பக்கத்திலிருந்து இந்த உபகரணத்திற்குக் கொண்டு செல்லப்படும்போது, ஒரு சென்சார் தூண்டப்பட்டு உள்ளீட்டுக் கதவு திறக்கப்படுகிறது. பொருள் பை உபகரணத்தினுள் முழுமையாக நுழைந்த பிறகு, தூசியை ஊதுவதற்காக உள்ளீட்டுக் கதவு மூடப்படுகிறது. நிர்ணயிக்கப்பட்ட தூசி அகற்றும் நேரம் முடிந்தவுடன், வெளியீட்டுக் கதவு திறக்கப்பட்டு, அந்தப் பை அடுத்த நிலையத்திற்குக் கொண்டு செல்லப்படுகிறது.